共聚焦显微镜HSR-8000可对待测物的表面进行非接触式三维形貌扫描，获取2D/3D表面形貌、分析微观轮廓几何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等参数指标，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT/四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。
产品性能：
1、高精度、高重复性
采用针孔，共聚焦光学系统、高稳定性结构设计、优异的3D重建算法组成测量系统保证测量精度高；
2、一体化操作的测量分析软件
1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能;
2） 可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程;
3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程;
4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;
5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能;
6） 可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。
产品参数：
测量原理
针孔共聚焦光学系统
显微物镜
10x,20x,50x,100x
视场范围
120x120㎛~1.2x1.2 mm
扫描帧率
≥4HZ
高度测量
重复性*1
20nm
精度*1
±(0.2+L/100)㎛
显示分辨率
0.5nm
宽度测量
重复性*2
40nm
精度*2
2%
显示分辨率
Inm
XY位移平台
尺寸
200×200mm
移动范围
100×100mm
负载
10kg
控制方式
电动
Z0轴扫指
范围
10mm
Z0轴扫描步长
20nm-150nm
Z向移动范围
100mm
物镜塔台
5孔电动
光源
白光LED
外形尺寸
540*379*594mm
总重量
45kg
工作电源
AC 220V/50HZ
工作环境
温度10°C~35°C,温度梯度＜1°C/15分钟，湿度30-80%振动＜0.002g,低于15Hz
•在环境温度20±2°C下用50X物鏡測量4.7㎛标准台阶样块。
•在环境温度20±2°C下用50X物鏡测量标准刻线样板。
